Produktbeskrivelse
Denne serien med ruteniummål er produsert av rutheniumråmaterialer med høy-renhet, og oppnår høy tetthet og jevn mikrostruktur gjennom lysbuesmelting og kornforedlingsprosesser. Produktene er tilgjengelige i ulike konfigurasjoner, inkludert plane mål og roterende mål, og støtter indium-binding/Elastic Body-bindingsbakplatetjenester, noe som gjør dem egnet for DC-sputtering-applikasjoner.
Trekk
- Høy renhet, konvensjonell kvalitet, tilgjengelig i ultra-spesifikasjoner for høy renhet.
- Høy hardhet, utmerket slitestyrke og overlegen oksidasjons- og korrosjonsbestandighet.
- For høyt smeltepunkt med utmerket høy-temperaturstabilitet.
- Filmen viser jevn avsetning og høy tetthet, noe som gjør den egnet for avanserte halvlederproduksjonsprosesser.
Spesifikasjoner og modeller
For tilpassede dimensjoner, tykkelse, renhet eller tekniske spesifikasjoner, vennligst kontakt oss. Vi kan tilby skreddersydde materialløsninger basert på sputterutstyret ditt, beleggkrav og dimensjonsspesifikasjoner.
| Klassifisering Dimensjon | Produkttype | Kjernefunksjoner |
| Renhetsgrad | Ulike renhetsgrader | Generelt-formål for halvledere, skjermer og minneenheter. |
| Produktformat | Sirkulært plan ruteniummål | Standard spesifikasjoner, kompatibel med det meste av sputterutstyr. |
| Rektangulært/blokkformet-ruteniummål | Egnet for belegg på store-områder. | |
| Roterende ruteniummål | Egnet for store-avsetninger med høy-effektivitet. |
Søknad
- Halvledere: DRAM/MIM kondensatorelektroder, sammenkoblede diffusjonsbarrierelag.
- Avansert lagring: Magnetisk lagring, Phase-Endre minne, Resistivt minne.
- Integrert krets: Kobberforbindelsesfrølag, barrierelag og logikkenhet.
- Skjermenheter: Flat-skjermer, OLED-tynne-filmelektroder.
- Optoelektronikk og fotovoltaikk: optiske belegg, funksjonelle lag av fotovoltaiske celler.
- Presisjonselektronikk: Slitasjebestandige-elektriske kontakter, tykke-filmmotstander, sensorer.
Populære tags: ruthenium mål, Kina ruthenium mål produsenter, leverandører, fabrikk
