Presisjonsrengjøring og overflateBehandling
Vi er spesialister på å tilby profesjonelle rengjørings- og overflatebehandlingsløsninger for avansert prosessteknologi. Ved å integrere ressurser fra strategiske partnere innen bransjen, samarbeider vi for å levere omfattende servicestøtte til våre kunder. Våre partnere har over 20 års praktisk erfaring innen halvlederfeltet, med team utstyrt med teknisk ekspertise som dekker ned til 14nm-noden. De er i stand til pålitelig å tilby rengjørings- og overflatebehandlingstjenester for 8-tommers og 12-tommers wafer-fabrikker, som omfatter prosesser som fysisk dampavsetning (PVD), kjemisk dampavsetning (CVD), etsing og ionimplantasjon.
Som en servicebro utnytter vi våre partneres modne kvalitetsstyringssystemer og responsive serviceevner for å hjelpe kunder med integrert krets og bred halvlederproduksjon med å håndtere strenge kvalitetskontroll- og prosessutfordringer, og levere effektiv og stabil servicestøtte.
Kasusstudier av presisjonsrengjøring
Prøvetesting etter presisjonsvask, partikkelnivået og nivået av metallionrester på overflaten må oppfylle kravene til gjeldende 28nm-prosess.
-
Før -
Etter
-
Før -
Etter
-
Før -
Etter
-
Før -
Etter
Presisjonsrengjørings- og rekondisjoneringsprosess
-
Innkommende inspeksjon
Innkommende inspeksjon
Sjekk utseende, spesifikasjoner og skade.
-
Maskering
Maskering
Beskytt ikke-behandlingsområder mot korrosjon.
-
Kjemisk stripping
Kjemisk stripping
Fjern nøyaktig gammelt belegg.
-
Skylling/Bløtlegging
Skylling/Bløtlegging
Fjern kjemikalierester med rent vann.
-
Maskering
Maskering
Skjerm områder fra sandblåsing.
-
Sandblåsing
Sandblåsing
Juster parametere for å oppnå målruhet.
-
Dimensjonering og inspeksjon
Dimensjonering og inspeksjon
Mål og korriger dimensjoner for å møte spesifikasjoner.
-
Termisk sprøyting
Termisk sprøyting
Påfør slitebestandige-belegg via Arc eller Plasma.
-
Høytrykksspyling-
Høytrykksspyling-
Fjern store overflatepartikler.
-
Ultralyd rengjøring
Ultralyd rengjøring
Utfør presisjonsrengjøring for å fjerne fine partikler.
-
Renromstørking
Renromstørking
Tørk komponentene grundig i en klasse 100 renromsovn.
-
Endelig inspeksjon
Endelig inspeksjon
Gjennomfør omfattende kontroller for å sikre samsvar.
-
Emballasje
Emballasje
Vakuumpakke komponenter i henhold til kundens krav.
-
Fraktrevisjon
Fraktrevisjon
Kontroller kvantitet og emballasjeintegritet.
-
Endelig levering
Endelig levering
Generer rapporter og lever.
Tjenesteevne
► 5000m2(55000 sq. ft.) rent verkstedområde.
► Over 50000 stykker/måned behandlingskapasitet.
► 365 dager med kontinuerlig og effektiv service.
► Ulike produkter, forskjellige prosesser.
►8 ledende prosesseringslinjer inkludert teknologier for:
- Kjemisk rensing/stripping, Fysisk stripping
- ARC-spray, plasmaspray, belegg, teksturering, støvsuging og pakking, overhaling osv.
Teknisk kapasitet
► Prosess: 14nm avansert prosess
► Serviceomfang: 4 tommer, 6 tommer, 12 tommer med halvlederdeler
► Serviceprosess: PVD/CVD/ETCH/IMPLANT/LITHO
► Streng kvalitetskontroll: Høy-standard presisjonsrengjøringsteknologi